در مقدمه‌ی کتاب دافع‌الغرور بنای این مسجد به حاجی علی خان مقدم مراغه‌ای نسبت داده شده است. با توجه به شیوه‌ی ساخت بنا می‌توان گفت که این بنا قبل از دوره‌ی صفویان ساخته نشده است و احتمالاً از نخستین بناهای دوران شاه طهماسب صفوی، یعنی اواسط قرن دهم هجری قمری است که در دوره‌ی قاجاریان بازسازی شده است.
در شبستان زمستانی یکی از ستون‌ها از سنگ مرمر می‌باشد؛ درحالی‌که سایر ستون‌ها از چوب، با مقطع هشت ضلعی ساخته شده است. این ستون مرمری و سرستون آن احتمالاً جزء بنایی بوده است که پیش از احداث مسجد در این محل وجود داشته است و شاید متعلق به دوره‌ی ایلخانان و یا سلجوقیان بوده است. امروزه به علت بی‌توجهی، به سردر مسجد آسیب‌های وارد آمده و نصب پنجره‌ای آهنی در میانه‌ی سردر به نمای آن لطمه وارد شده است.
